| 规格 | X轴(下轴) | Y轴(上轴) | Q轴(旋转轴) |
| 外形尺寸 | 840*840*175.8 | ||
| 行程 | ±175mm | ±175mm | |
| 最大速度 | 1,500mm/sec | 100R/min | |
| 最大(平均)加速度 | 2G | ||
| 整定时间(完成定位的宽度±0.25μm) | 29.3msec | 14.8msec | 35.8msec |
| 重复定位精度 | ±0.1μm | ±0.1μm | ±0.01acr |
| Pitch | 6.04μm | 8.89μm | |
| Yaw | 2.9μm | 4.27μm | |
| 直线度(垂直) | 1.91μm | 4.08μm | |
| 直线度(水平) | 2.54μm | 2.51μm | |
通过高加速度驱动和高精度定位，从而实现高节拍化。且节省空间（平台高度：175mm），可应用于各种加工机、安装机。
整定波形(整定幅度±0.25μm) 整定时间 : 29.3msec 步进距離:+170mm / 指令速度:1500mm/s / 指令(平均)加速度:2.0G / SAMPLING:2.222kHz
