◊高精度稳定性：
高刚性花岗石基台,配合精密滚珠导轨及高分辨率光栅,确保各项精度长期稳定可靠。
◊高动态响应及快速整定：
优异的速度稳定性及快速整定到位,显著提升生产质量和效率
◊全面专业的定制化能力：
提供光机电控全专业定制化服务,助力客户加速产品开发。
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| X轴(上轴) | Y轴(下轴) | Z轴 | Θ轴 | |
|---|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | 1,450＊1,650＊1,355mm | |||
| 行程 | 340mm | 390mm | 10mm | ±1.0度 |
| 定位精度(改正后) | ±0.37μm | ±0.10μm | – | – |
| 重复定位精度 | ±0.08μm | ±0.02μm | ±0.14μm | ±0.18μm |
| 直线度(水平) | 0.29μm | 1.29μm | – | – |
| Pitch(静态) | 1.09秒 | – | – | – |
| Yaw(静态) | 0.33秒 | – | – | – |
