气浮平台特点：
◆以空气作为润滑介质，运动部件没有机械接触、无机械摩擦
◆使用花岗岩大理石作为底座，极高的刚性和出色的几何特性;
◆使用静音型气浮导轨，独有的小孔节流技术，解决在高压问题上的气锤效应及微观波动;
◆使用1nm分辨率编码器，重复定位精度可达到+0.1um，定位精度达到+0.3um;
◆在气膜的均化效应下，可以达到非常出色的直线度:
◆气膜厚度几乎不受速度的影响，即使在很低的速度下也不发生蠕变，运动稳定;
产品应用:
1.在半导体行业适械制造中，可以让零部件尺寸达到非常高的精度，表面光洁度好;
2.在航空航天领域，要求机床具有高速加工和高精度定位能力，以满足轻量化和结构优化的需求:
3.适用于激光加工、3D打印、晶圆检测等超高运动精度场景
4.主要应用于大型光学透镜检测、半导体领域的晶圆缺陷检测、精密制造和封装;可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
安装说明：
1.彻底清洁轴承表面和导轨表面，不能有碎屑，线头等小零碎出现在导轨表面。
2.确保接触面不能有任何小突起，再小的突起都可能损坏空气轴承。
3.额定供气压力是0.5Map。根据应用，供气压力可以调整到所需的气压(0.4-0.7pa)4.依据日常使用和污染情况，定期检查和更换颗粒过滤器和排出冷凝水，不间断的通过压力表监测空气轴承的供气压力，避免空气轴承在气压不足或者没有压缩空气供应的情况下运转(空气必须洁净，干燥至0°F露点，过滤至0.5um最佳)。
◊搭配高精度光学编码器 ◊简易预过滤器
◊多轴运动控制器和直接驱动器 ◊可XY装置和个性化配置
◊电缆轨专用通道设计 ◊用于垂直组装的平衡配件
◊岗岩底座板或高硬度铝合金材质 ◊自研的隔振系统
◊为高性能扫描和检测应用设 ◊可定制专用版本
| ⾏程 (mm) | 132 | 300 | 468 | 636 | 804 |
| 最大速度 mm/s ❶ | ≦1000 | ≦1000 | ≦1000 | ≦1000 | ≦1000 |
| 允许负载 (Kg) | 35 | 35 | 35 | 35 | 35 |
| 连续推⼒ (N) | 146 | 146 | 146 | 146 | 146 |
| 峰值推⼒ (N) | 500 | 500 | 500 | 500 | 500 |
| 连续电流 (Arms) | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 |
| 峰值电流 (Arms) | 7.4 | 7.4 | 7.4 | 7.4 | 7.4 |
| 解析度 (nm) | 1nm(BiSS-C) | 1nm(BiSS-C) | 1nm(BiSS-C) | 1nm(BiSS-C) | 1nm(BiSS-C) |
| 重复精度 (um)❷ | ±0.1* | ±0.1* | ±0.1* | ±0.1* | ±0.1* |
| 定位精度 (um) ❸ | ± 0.5（已校准） | ± 0.5（已校准） | ± 0.5（已校准） | ± 0.5（已校准） | ± 0.5（已校准） |
| 直线度(um) | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ±2 | ±2 |
| 平面度(um)❹ | ±1.5 | ±1.5 | ±1.5 | ±1.5 | ±1.5 |
| 附仰 arcsec | 12 | 15 | 15 | 15 | 18 |
| 横滚 arcsec | 12 | 15 | 15 | 15 | 18 |
| 偏摆 arcsec | 6 | 8 | 8 | 8 | 10 |
| 正交性 arcsec | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
| 尺⼨ L*W*H(mm) | 512*320X75 | 680*320X75 | 848*320X75 | 1016*320X75 | 1184*320X75 |
| 耗气量(SCFM) | <1.0(28 SLPM) | <1.0(28 SLPM | <1.0(28 SLPM | <1.0(28 SLPM | <1.0(28 SLPM |
| 总质量（kg） | 22 | 24 | 26 | 28 | 30 |
可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。
精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移(为实现这些数值，平台须与控制器一同订购)。
取决于平台安装表面的平面度。
为防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
假定空气轴承工作压力为70磅/平方英寸(480千帕)。
*详情可询问定制版本。
