PWH 高刚气浮线性位移平台系列

气浮平台特点：
以空气作为润滑介质，运动部件没有机械接触、无机械摩擦:
使用花岗岩大理石作为底座，极高的刚性和出色的几何特性;
◆使用静音型气浮导轨，独有的小孔节流技术，解决在高压问题上的气锤效应及微观波动:
◆使用1nm分辨率编码器，重复定位精度可达到+0.1um，定位精度达到+0.3um;
在气膜的均化效应下，可以达到非常出色的直线度;
气膜厚度几乎不受速度的影响，即使在很低的速度下也不发生变，运动稳定;

产品应用:
1、在半导体行业适械制造中，可以让零部件尺寸达到非常高的精度，表面光洁度好:

2、在航空航天领域，要求机床具有高速加工和高精度定位能力，以满足轻量化和结构优化的需求:

3、适用于激光加工、3D打印、晶圆检测等超高运动精度场景

4、主要应用于大型光学透镜检测、半导体领域的品圆缺陷检测、精密制造和封装;可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

安装说明：
1、彻底清洁轴承表面和导轨表面，不能有碎屑，线头等小零碎出现在导轨表面

2、确保接触面不能有任何小突起，再小的突起都可能损坏空气轴承。

3、额定供气压力是0.5Map。根据应用，供气压力可以调整到所需的气压(0.4-0.7pa)4.依据日常使用和污染情况，定期检查和更换颗粒过滤器和排出冷凝水，不间断的通过压力表监测空气轴承的供气压力，避免空气轴承在气压不足或者没有压缩空气供应的情况下运转(空气必须洁净，干燥至0°F露点，过滤至0.5um最佳)。

• ◊ 搭配高精度光学编码器              ◊ 预过滤器和空气预处理器
• ◊ 多轴运动控制器和直接驱动器    ◊ XY装置和个性化配置
• ◊ 用于垂直组装的平衡配件           ◊ 花岗岩底座板和自研的隔振系统
• ◊ 可定制专用版本

• 可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
• 通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。
• 精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移（为实现这些数值，平台须与控制器一同订购）。
• 取决于平台安装表面的平面度。
• 为防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
• 假定空气轴承工作压力为70磅/平方英寸（480千帕）。
• 可定制双直线电机，有效地将平台的输出力增加至双倍

*询问定制版本。