Micro LED 芯片排列检测返修平台
| 名称 | X轴 （上轴） |
Y轴 （下轴） |
θ轴 | 说明 | 验收依据 |
| 有效行程 （毫米）or （度） | 600 | 400 | ±15° | 使用Renishaw 激光干涉仪 | 图表 |
| 重复定位精度（微米）or (角秒) | ±0.5 | ±0.5 | ±1.5 | 使用Renishaw 激光干涉仪，全行程往复测量三次 | 干涉仪导出测试报告 |
| 绝对精度(Aftermapping)(微米）or (角秒) | ±1 | ±1 | ±10 | ||
| 激光干涉仪测量间距 | 30 | 30 | 全行程 | ||
| 直线运动-直线度(um) 旋转运动-圆跳动（um） 工作段320mm |
±2.5 | ±2.5 | |||
| 直线运动-直线度(um) 旋转运动-圆跳动（um） |
±3 | ±3 | ±3 | ||
| 直线运动-平面度(um) 旋转运动-端面跳动（um）工作段320mm |
±2.5 | ±2.5 | |||
| 直线运动-平面度(um) 旋转运动-端面跳动（um） |
±3 | ±3 | ±3 | ||
| 整体平面度(um)工作段320mm 角度±15度 | 安装Chuck，测量Chuck上表面 采用固定千分尺测量动子方式和千分尺固定在动子上测量台面两种测量方式。（甲方也可通过其他方式测量确认） |
测试报告 | |||
| 整体平面度(um)全行程 角度±15度 | XY （±5） | XYθ（ ±8） 测量Chuck上表面 |
|||
| 直线运动-最大速度(mm/s) 旋转运动-最大角速度（rps） |
600 | 600 | 80 | 示波器截图 | 图表 |
| 直线运动-最大加速度(g) 旋转运动-最大角加速度rad/s^2 |
0.6 | 0.6 | 0.2 | ||
| 无尘等级 | Class 100 | 相关标准件参数满足无尘要求，加工件材料及表面处理和甲方沟通确认。 | 乙方提供标准件无尘标准相关参数，以及加工件材料及表面处理信息。 | ||
| 基本负载（kg） | θ+10 | X+θ+10 | 10 | 配重块 | 干涉仪导出测试报告 |
| 偏角激光干涉仪测量间距 直线运动（mm） |
30 | 30 | 激光干涉仪报告体现 | ||
| 偏角误差@200mm（arcsec） | ±6 | ±6 | 使用Renishaw 激光干涉仪和其角度镜组，全行程往复测量三次，所测得的数据，最大值减最小值为测量结果（峰峰值） | ||
| 偏角误差重复性（arcsec） | ±1 | ±1 | ±0.2 | ||
| 俯仰误差 干涉仪 测量间距( mm) |
30 | 30 | 激光干涉仪报告体现 | ||
| 俯仰误差@200mm（arcsec） | ±6 | ±6 | 使用Renishaw 激光干涉仪和其角度镜组，全行程往复测量三次，所测得的数据，最大值减最小值为测量结果（峰峰值） | ||
| 俯仰误差重复性（arcsec） | ±1 | ±1 | ±0.2 | ||
| 正交误差 干涉仪 测量间距（um） | 5(XY) | 大理石+千分表 | |||
| 最小步进量（um） | 0.2 | 0.2 | ±0.3arcsec | 驱动器示波数据 | 图表 |
| 速度波动 | 驱动器示波数据 | 图表 | |||
| 整定时间 | 100ms@0.35um | 100ms@0.35um | 驱动器示波数据 | 图表 | |
| 回零重复精度 | ±0.2um | 驱动器示波数据 | 图表 | ||
| Sever Jitter (nm) 定位抖动 | ±50nm | ±50nm | 驱动器示波数据 | 图表 | |
| 备注： | |||||
