检测类大理石平台

1. 设备设计：在设备设计阶段，我司进行用户需求分析和应用工艺了解，了解用户对设备功能、外观和易用性等方面的要求。基于收集的数据，设计设备的相应功能和特点，并进行初步的原型制作和测试，并在上一版项目案例介绍上体现平台重复、定位精度、静态抖动、整机稳定性等针对性案例指标。
2. 制造和测试： 我司长期与核心部件厂家（雷尼绍、海德汉、Aerotech、Parker、ACS、IKO、THK、精密大理石厂、精密机加厂等）保持良好合作关系，前期经过与多家校企、科研单位、华星光电、京东方系OEM客户企业合作，关注制造过程中的工艺细节和质量控制，保证最终生产出的平台符合设计要求和标准。
3. 项目验证：我司具有雷尼绍激光干涉仪、安捷伦激光干涉仪、Newport自准直仪、海德汉2D光栅、自开发有限元分析软件、震动锤、震动采集卡、光栅编码器质量分析仪等可用于该项目行走精度、稳定性、隔振数据的测量，保证平台的质量。

运动参数：
1.扫描范围：整个产品面，1700x1300mm；X轴扫描，Z轴换行；
2.X轴负载：产品及夹具重量1T；
3.X轴扫描速度：110mm/s；运行最大速度：200mm/s;
4.X轴速度波动：0.2％-0.4％；
5.X轴加速度：0.2G；
6.X轴行程：2000mm；
7.X轴水平、垂直方向运行震动振幅＜5μm；
8.X轴安装台面平面度：15μm；安装面精加工即可
9.X轴运动水平直线度：10μm；任意200mm行程直线度3μm；
10.X轴运动垂直直线度：25μm；任意200mm行程直线度3μm；
11.X轴重复定位精度：2μm，测试间隔以行业标准的100mm进行测试,
测试次数往复不低于5次；
12.吊轨基座安装面平面度：5μm；
13.X轴与辅助轨道平行度：10μm；
14.Z轴行程：1300mm，Z轴重复定位精度5μm；
15.Z轴运动直线度：20μm；
16.Z轴安装面平面度：10μm；
17.产品夹具基准面平面度：5μm；
18.产品夹具基准面与X轴平行度：20μm；
19.产品夹具基准面与Z轴平行度：20μm；
20.机台检测运行震动频率应避开机台的固有频率和相机的固有频率；
21.气囊隔振等级：VC-C
22.场地基座隔振等级：VC-B

隔振单元: