PLD-XY系列精密微动平台是精密微的最新型设计平台。使用交叉滚珠导轨， 保证了设备运行平 稳，尤其是小步距运动时， 的响应以及线性精度，光栅全闭环反馈机构，保证了整套系统的重复 精度。 整体式化结构件， 既让平台高度低趴， 同时精度及稳定性优于传统的 十字交叉堆叠平台。
产品功能与特点：
■高动态响应、高动态响应、非接触直线电机驱动电机
■高精度的光学式线性编码器反馈
■高刚度防蠕变交叉滚柱导轨设计
■优异的定位精度和动态性能
采用自研核心直线电机动定子部件，完全自主知识产权
| 参数 | XY轴 | XY轴 | XY轴 |
| ⾏程 (mm) | 120 | 240 | 295 |
| 最大速度 mm/s ❶ | ≦200 | ≦200 | ≦200 |
| 允许负载 (Kg) ❷❸ | ≦30 | ≦30 | ≦25 |
| 连续推⼒ (N) | 40 | 40 | 40 |
| 峰值推⼒ (N) | 90 | 90 | 90 |
| 连续电流 (Arms) | 3.4 | 3.4 | 3.4 |
| 峰值电流 (Arms) | 7.3 | 7.3 | 7.3 |
| 解析度 (um) ❹ | sin/cos4.88nm* | sin/cos4.88nm* | sin/cos4.88nm* |
| 重复精度 (um) | ±0.5* | ±0.5* | ±0.5* |
| 最小位移(um) | – | – | – |
| 直线度(um) | ±1 | ±1.5 | ±2 |
| 平面度(um) | ±1 | ±1.5 | ±2 |
| 附仰 arcsec | 12 | 15 | 18 |
| 横滚 arcsec | 12 | 15 | 18 |
| 偏摆 arcsec | 6 | 8 | 10 |
| 正交性 arcsec | 20 | 20 | 20 |
| 尺⼨ (mm) | 380X380X100 | 440X440X100 | 560X560X100 |
| 总质量 （kg） | 12 | 15 | 18 |
❶ 速度过快电机可能过热，测量室温24 ℃，取決电机散热环境。
❷ 在此负载下，平台可以提供不少于1G的加速度，请咨询技术部确认。
❸ 如需过载使用请咨询相关技术部
❹ 解析度0.1 μm到0.5 μm 可选
相关参数规格如有变动，怒不另行通知。
专为半导体电子束检测、Mini LED及Micor LED巨量转移，批量焊接而设计，适用于电子束晶圆缺陷、关键尺寸检测等应用场景实现高精度、高稳定性的微观缺陷检测，助力芯片制造良率提升。 
