PLD-XY系列精密微动平台是精密微的最新型设计平台。使用交叉滚珠导轨， 保证了设备运行平 稳，尤其是小步距运动时， 的响应以及线性精度，光栅全闭环反馈机构，保证了整套系统的重复 精度。 整体式化结构件， 既让平台高度低趴， 同时精度及稳定性优于传统的 十字交叉堆叠平台。
产品功能与特点：
■高动态响应、高动态响应、非接触直线电机驱动电机
■高精度的光学式线性编码器反馈
■高刚度防蠕变交叉滚柱导轨设计
■优异的定位精度和动态性能
专为半导体电子束检测、Mini LED及Micor LED巨量转移，批量焊接而设计，适用于电子束晶圆缺陷、关键尺寸检测等应用场景实现高精度、高稳定性的微观缺陷检测，助力芯片制造良率提升。 
