精密级Z向位移台
非常准确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳进给的防蠕动交叉滚柱导轨，电磁直接驱动，无需使用联接器、传动螺杆或减速齿轮等机械传动元件。电磁驱动的另一个优势是快速响应。
增量式直线光栅尺用于高精度位置测量
非接触式可选编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。
交叉滚柱导轨
对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。
气动平衡器
集成气动平衡器，作用力高达150N。
应用领域
用于工业和科研的精密定位。半导体检测。
主要特点：
